МОНОКРИСТАЛЛОВ ВЫРАЩИВАНИЕ,
проводят разл. методами, обеспечивающими получение индивидуальных кристаллов
заданного размера, формы и дефектности. При М. в. заранее полученные мелкие
кристаллы (затравку) помещают в пересыщ. среду (пар, р-р, расплав, твердое в-во)
и выдерживают там до укрупнения затравки. Пересыщение и т-ру среды поддерживают
такими, чтобы затравка росла со скоростью 10-7- 10-1 мм/с
без спонтанного образования центров кристаллизации с сохранением морфологич.
устойчивости (см. Кристаллизация). Монокристалличность выросших
кристаллов проверяют методом рентгеноструктур-ного анализа. Иногда в качестве
затравки используют кристаллы, образовавшиеся в пересыщ. среде в начале выдержки
(самозатравка). Из пара проводят М. в. в-в, летучих или образующих летучие соед.
при т-ре кристаллизации, а также продуктов их взаимод. или термич. разложения,
из р-ра -- хорошо растворимых в-в и продуктов их взаимод., из расплава - конгруэнтно
плавящихся в-в, из твердой фазы-тугоплавких и коррозионноактивных в-в.
Выращивание из пара.
Исходное поликристаллич. или аморфное в-во помещают в источник пара (питатель)
и нагревают до испарения. Пары в-ва из источника диффундируют или переносятся
с потоком газа-носителя в зону, где находится затравка, охлажденная относительно
источника (м е т о д д е с у б л и м а ц и и). В качестве источника используют
также в-ва, при разложении к-рых на затравке образуется кристаллизующееся в-во.
Затравку при этом нагревают до т-ры. при к-рой разложение исходного в-ва происходит
с достаточной скоростью (м е т о д в а н А р к е л а и д е Б
у р а). Иногда в пар вводят реагенты, к-рые взаимод. на пов-сти затравки с образованием
кристаллизующегося в-ва (м е т о д х и м. к р и с т а л л и з а ц и и, см. Химическое
осаждение из газовой фазы). Если в-во является нелетучим, но образует летучие
термически неустойчивые соед. с к.-л. другим в-вом (транспортирующим реагентом),
то М. в. проводят методом х и м. т р а н с п о р т а. При этом источник и затравку
помещают в пары транспортирующего реагента, а затравку нагревают относительно
источника; в результате в источнике образуется летучее соед., к-рое переносится
к затравке, где разлагается с регенерацией транспортирующего реагента (см. Химические
транспортные реакции). Монокристал-лич. пленки (напр., Ge) получают конденсацией
мол. пучков на пов-сти затравки (м е т о д В е к ш и н с к о г о).
Нитевидные кристаллы ("усы")
выращивают т. наз. ПЖК-м е т о д о м. При этом на пов-сть затравочного кристалла
перед его контактом с паром (П) наносят капли жидкости (Ж), хорошо растворяющей
кристаллизующееся в-во и не растекающейся по кристаллу (К). Каждая капля поглощает
в-во из пара, становится пересыщенной и обеспечивает рост той части кристалла,
к-рая смочена ею; если рост из капли идет быстрее, чем из пара, то под каплей
вырастает нитевидный кристалл, сечение к-рого близко к диаметру капли. ПЖК-методом
получают, напр., кристаллы Si, Ge (р-ритель-расплав Аu) и SiC (р-ритель-расплав
Аl) размером 1 х 200 мкм; методом хим. транспорта-соед. типа AIIIBV
размером до 5 см (транспортирующие реагенты-I2, Сl2, летучие
хлориды); методом хим. кристаллизации-SiC и TiBr2 размером до 0,5
см с малым кол-вом дефектов; методом ван Аркела и де Бура - кристаллы особо
чистых тугоплавких металлов (Cd, Zn, Co); методом десублимации - металлов (W,
Та, Nb), неорг. солей (LiF, MgF2, СuСl2) и орг. в-в (антрацена
и уротропина) разного размера.
Выращивание из расплава.
Контейнер с расплавом и затравкой охлаждают так, чтобы затравка всегда была
холоднее расплава, но переохлаждение на ее пов-сти было невелико и затравка
росла без дендритообразования или появления "паразитных" кристаллов.
Этого достигают разными способами: меняя т-ру нагревателя (м е т о д С т р о
н-г а-Ш т е б е р а), перемещая нагреватель относительно контейнера (м е т о
д Б р и д ж м е н а-С т о к б а р г е р а), размещая затравку на неподвижном
охлаждаемом стержне (м е т о д Н а к к е н а), вытягивая затравку из расплава
по мере роста кристалла без вращения (м е т о д К и р о п у л о с а) или с вращением
(м е т о д Ч о х р а л ь с к о г о). Затравке или щели, из к-рой вытягивают
кристалл, иногда придают спец. форму, выращивая кристаллы разного профиля (м
е т о д С т е п ан о в а). Особенно широко распространен метод Чохральского,
при к-ром затравку закрепляют на охлаждаемом стержне, опускают в расплав, а
затем вытягивают из расплава при непрерывном вращении стержня. Метод используют
для пром. получения металлич. и полупроводниковых кристаллов размером 1-50 см
с регулированием их качества (дефектности) путем изменения скоростей вращения
и вытягивания затравки.
Иногда, не вводя затравки, контейнер локально охлаждают, напр. потоком воздуха,
добиваясь образования самозатравки на наиб. холодном месте и ее направленного
роста (м е т о д О б р е и м о в а-Ш у б н и к о в а).
При получении сверхчистых
монокристаллов затравку вытягивают из расплавленной части слитка кристаллизующегося
в-ва, а нерасплавленная часть слитка играет роль контейнера (б е с т и г е л
ь н ы й м е т о д). В м е т о д е з
о н н о й п л а в к и контейнер нагревают так, что формируется узкая
зона расплава у пов-сти затравки.
В широко распространенном
м е т о д е В е р н е й л я порошок кристаллизующегося в-ва высыпают из бункера
на пов-сть затравки, помещенной под пламенем горелки или газового разряда; проходя
через пламя, частицы порошка плавятся и в виде капель достигают пов-сти затравки,
где закристаллизовываются.
Методы Стронга - Штёбера
и Наккена чаще всего используют для выращивания крупногабаритных кристаллов
легкоплавких орг. в-в (нафталина размером 20-50 см, бифта-лата калия размером
1-20 см); методы Бриджмена-Стокбаргера и Киропулоса - кристаллов неорг. солей
(NaCl и КСl размером 20-90 см); методы Чохральского и зонной плавки - кристаллов
металлов и полупроводников (Ge, Si, GdAs, ZnAs размером 1-50 см); метод Степанова-металлич.
кристаллов сложной формы (труб из Аl и лопаток турбин размером до 1 м); метод
Вернейля - тугоплавких оксидов и солей, легированных примесями (корунда и рубина
в виде стержней длиной до 3 м).
Выращивание из жидкого
раствора. Методы применяют для в-в, хорошо р-римых при т-ре выращивания.
Затравку закрепляют на неподвижном или вращающемся кристал-лоносце и помещают
в насыщ. р-р, после чего р-р охлаждают, испаряют р-ритель или добавляют высаливающий
агент (см. Высаливаниe). Иногда р-р подпитывают кристаллизующимся в-вом,
для чего организуют циркуляцию р-ра между нагретой зоной растворения, где находятся
подпитывающие кристаллы, и холодной зоной роста, где расположена затравка (м
е т о д т е м п е р а т у р н о г о п е р е п а д а).
Если р-рителем является
вода и р-римость кристаллизующегося в-ва мала при обычных условиях, но возрастает
с увеличением т-ры, то М. в. ведут в автоклавах при т-ре до 800 К и давлении
до 300 МПа (м е т о д г и д р о т е р м а л ь н о г о с и н т е з а) (см. Гидротермальные
процессы). Для малорастворимых
в-в используют метод хим. кристаллизации, при
к-рой в суспензию затравочных кристаллов в р-рителе добавляют
р-ры реагентов, разбавленных настолько, чтобы после их
смешивания не происходило спонтанного зародышеобразо-вания. Чтобы вырастить
крупные кристаллы малорастворимых в-в, используют метод встречной диффузии.
В этом методе затравку помещают в трубку с гелем, а р-ры реагентов вводят в
разные концы трубки; реагенты медленно диффундируют в геле, создавая вокруг
затравки небольшое устойчивое пересыщение. Используют также электролиз с образованием
монокристаллов на электродах.
Методы охлаждения водных
р-ров, испарения р-рителя и температурного перепада используют для выращивания
кристаллов сегнетовой соли размером 30-80 см и КН2РО4 размером
30-60 см, применяемых для пьезоэлементов; методом высаливания выращивают кристаллы
белков и нуклеиновых к-т; методом хим. кристаллизации-микрокристаллы Agl размером
0,1-10 мкм для фотоэмульсий; методом гидротермального синтеза - кристаллы кварца
и сапфира размером до 50 см для приборостроения и ювелирной пром-сти; методом
охлаждения р-ра в расплаве металла-кристаллы GaP размером до 1 см для электролюминесцентных
датчиков; охлаждения р-ра в расплаве солей-иттрий-алюминиевого граната Y3Al5O12
размером до 2 см для твердотельных лазеров.
При выращивании из твердой
фазы поликристаллич. образец нагревают чуть ниже т-ры плавления, вызывая
собирательную рекристаллизацию и укрупнение одного из кристаллов (самозатравки)
за счет поглощения др. кристаллов. В методе деформац. отжига (часто после предварит.
деформирования) образец
перемещают в температурном поле, добиваясь, чтобы в образце сформировалась узкая
высокотемпературная зона, двигающаяся от самозатравки вдоль образца, последовательно
превращая его в монокристалл. Если в-во подвержено полиморфным превращ., то
м е т о д о м А н д р а д е получают монокристаллы низкотемпературной модификации.
При этом движущуюся зону поддерживают при т-ре несколько выше т-ры превращ.,
а скорость перемещения делают соизмеримой со скоростью превращ.; в результате
в-во, попав в зону, переходит в высокотемпературную модификацию, а выйдя из
зоны, возвращается к исходной низкотемпературной модификации, но уже в монокристаллич.
форме. Если превращ. происходит слишком медленно, то образец длительно выдерживают
значительно выше т-ры превращ., а иногда поочередно выше и ниже этой т-ры (м
е т о д т е р м о - ц
и к л и р о в а н и я).
Методом деформац. отжига
получают, напр., кристаллы Мо и сплава Ti—Mo размером до 1-3 см (растяжение
на 1-3%, отжиг при 1300-2300 К неск. часов); методом Андраде-кристаллы Аl в
виде листов и стержней длиной до 1 м (обработка при 650-950 К, скорость перемещения
10-2 мм/с); методом полиморфных превращ.-кристаллы алмаза и BN размером
0,1-0,5 см (т-ра 1600-2000 К, давление до 8 ГПа); методом термоциклирования
- a-Zr сантиметровых размеров (обработка при 1110-1500 К в течение 10 сут).
Методы М. в. позволяют
получать кристаллы разнообразной чистоты и дефектности при скоростях роста до
10-3 мм/с (из пара или р-ра) и до 10-1 мм/с (из расплава
или твердой фазы). В лабораториях выращивают монокристаллы более 200 тыс. в-в,
а в пром-сти-более 20 тыс.
=== Исп. литература для статьи «МОНОКРИСТАЛЛОВ ВЫРАЩИВАНИЕ»: Лодиз Р.,
Паркер Р. Л., Рост монокристаллов, пер. с англ., М., 1974; Рост кристаллов,
под ред. К. Гудмана, пер. с англ., т. 1-2, М., 1977-80; Козлова О. Г., Рост
и морфология кристаллов, 3 изд., М., 1980.
И. В. Мелихов.
Страница «МОНОКРИСТАЛЛОВ ВЫРАЩИВАНИЕ» подготовлена по материалам химической энциклопедии.
|