Барьерные свойства покрытий из оксида кремния, полученные указанным выше способом: Способность пропускать кислород пленок с барьерным покрытием SiO2 (ПЭТ и ОПП) 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Скорость нанесения покрытия: | Ширина ленты | Скорость | | 0,3 м | 0,3 м/мин | | 0,6 м | ПЭТ – 30 м/мин, ОПП – 15 м/мин | | 1,5 м | ПЭТ – 100 м/мин, ОПП-30 м/мин |
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Таким образом, достижение максимальной производственной скорости возможно на оборудовании, использующем пленку шириной 1,5 м. Способность пропускать влагу ПЭТ пленки с оксидным барьерным покрытием 
Источник: E. Finson, J.Felts, Airco Coating Technology, Concord, CA Описание процесса нанесения покрытия из оксида кремния методом химического парофазного осаждения усиленного плазмой. Линия для нанесения данного покрытия состоит из валкового оборудования для вакуумного осаждения. Осаждение покрытия методом микроволновой плазмы происходит на неохлажденную поверхность полимерной ленты, которая движется с большой скоростью. Комбинация высокой скорости осаждения и эффективного использования активных ингредиентов позволяет получить довольно высокую скорость производственного процесса. Описание процесса: Энергия микроволн генерирует плазму высокой плотности и расщепляет смесь газов более эффективно. Данный процесс имеет очень высокую скорость осаждения (в среднем более чем 250 А/с) и очень эффективное использование газов. В качестве реакционных газов используются кислород и силан. Состав линии нанесения покрытия: 1)Микроволновый генератор
2)Микроволновый волновод
3)Линейный аппликатор
4)Система подачи реакционных газов
5)Система вакуумной откачки (диффузионный насос, вакуумный насос Рутса, форвакуумный насос)
6)Конвейер для транспортировки полимерной ленты
| 
